DE400DUL 超高真空电子束蒸发镀膜系统
DE400DUL超高真空电子束蒸发镀膜系统配置一个多坩埚电子束蒸发源,可在基片蒸发沉积金属、半导体或介质材料,是制备lift-off工艺薄膜和低微材料的理想平台。
特点 | 蒸发腔体胶圈密封前开门便于腔体内部操作 基片挡板开启由膜厚仪闭环控制 可选RF等离子体或离子源基片清洗 可选基片氧化 系统安全互锁 计算机控制全自动或手动操作 |
主要配置
蒸发腔体 | 304不锈钢,前开门并有观察窗 |
真空泵 | 蒸发室配备分子泵或冷凝泵和无油机械泵 |
真空阀门 | 气动控制高真空阀门 |
真空测量 | 宽量程真空计用于测量真空和粗抽计 |
蒸发源 | 多坩埚电子束蒸发源自动导位 |
样品台 | 自转基片台 (可选加热至800度) (可选冷却至-150度) |
膜厚检测 | 晶振速率膜厚监控 |
预真空样品室 | 单基片或多基片装载能力 全自动送样 |
主要技术指标
极限真空度 | 5E-9Torr 可选9E-10Torr |
基片尺寸 | 可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸 |
膜厚均匀性 | 优于+/-3% |
蒸发速率分辨率 | 0.01 A/s |
膜厚分辨率 | 0.1A |
相关产品