DE3000ER 多腔体电子束蒸镀系统
产品特点：
- 电子束蒸镀室真空度-10Torr
- 膜厚均匀性＜±2%
- 速率精度0.01Å/s, 膜厚精度0.1Å
- 膜厚仪控制挡板开启和电源输出
- LIFT-OFF工艺蒸镀
- 低维材料制备
- 约瑟夫结制备
- 倾角镀膜制备柱状和螺旋状薄膜
- 基片清洗刻蚀
- 基片氧化处理
- 基片加热至1000℃
- 基片冷却至110K，可选控温
- 基片冷却至10K，可选控温
- PLC+工控PC全自动控制
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