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DE3000ER 多腔体电子束蒸镀系统

     型号：DE3000ER   更新时间：2026-3-20

  • 多个工艺模块：

- 超高真空蒸镀

- 样品分析

- 样品预清洗

- 样品除气

- 样品氧化

- LOAD LOCK

  • PLC+PC全自动控制样品传输和全部工艺流程
  • 主要用途：

- 约瑟夫森结制备

- 超导材料薄膜制备

- 量子器件制备

- 低维材料制备

- LIFT-OFF工艺蒸镀

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DE400DUL 超高真空电子束蒸发镀膜系统

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