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DE3000ER 多腔体电子束蒸镀系统

  • 多个工艺模块：

超高真空蒸镀

样品分析

样品预清洗

样品除气

样品氧化

LOAD LOCK

  • PLC+PC全自动控制样品传输和全部工艺流程
  • 主要用途：

约瑟夫森结制备

超导材料薄膜制备

量子器件制备

低维材料制备

LIFT-OFF工艺蒸镀

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无

DE400DUL 超高真空电子束蒸发镀膜系统

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