DE400DHL 电子束蒸发镀膜系统
- 高真空蒸镀环境
- 样品可高温加热
- 样品可低温冷却
- 优质薄膜质量及膜厚均匀性和重复性
- 高精度镀膜速率和膜厚控制
- 可选LOAD LOCK，全自动送样
- 可选离子束清洗或辅助沉积
- 可选RF等离子体清洗
- PLC+PC全自动控制
- 可沉积金属、半导体、介质材料.
- 可用于沉积单层、多层薄膜
- LIFT-OFF工艺蒸镀
- 低维材料制备
- 多种样品台或客制样品台制备特殊工艺薄膜
- 用于研发、中试或量产
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