EN

(+86)10-67832716/17

DE500双电子枪电子束蒸发薄膜沉积系统001
微信图片_20231225154328
DE500双电子枪电子束蒸发薄膜沉积系统001
微信图片_20231225154328

DE400P 电子束蒸镀机

DE400P电子束蒸发镀膜系统配备电子束蒸发源或热阻蒸发源,用于沉积金属或介质薄膜及lift-off工艺薄膜沉积

DE400P电子束蒸发镀膜系统配备电子束蒸发源或热阻蒸发源,用于沉积金属或介质薄膜及lift-off工艺薄膜沉积。用于批量生产。

 

特点
  • 可蒸镀金属、半导体、介质材料及磁性材料
  • 制备LIFT-OFF工艺薄膜
  • 薄膜蒸镀在光栅顶部与底部,侧面无薄膜沉积
  • 不锈钢腔体,胶圈密封门,方便操作维护
  • 可选离子源清洗
  • 整套系统通过工控机和PLC实现全自动控制

 

 

主要配置

镀膜腔体

304不锈钢,胶圈密封门,带有观察窗

真空泵

分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀

高真空插板阀, 腔体充气阀,粗抽或前级阀门,气体控制阀

真空测量

宽量程真空计和皮拉尼粗抽计

镀膜源

电子枪坩埚数目多达8个

高压电源和可编程束斑扫描器

基片台

穹顶结构

薄膜监控

晶振膜厚/速率监控

 

 

镀膜室主要技术指标

极限真空压力

<5E-8Torr

大气抽至5E-7Torr时间

<40分钟

基片尺寸

可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

片内膜厚均匀性

≤+/-3%

片间膜厚重复性

≤+/-2%

 

 

装片能力

设备型号

DE400P/5

DE400P/7 DE400P/10 DE400P/13 DE400P/16 DE400P/18 DE400P/20
基片尺寸

4"

6"

8" 4" 6" 8" 4" 6" 8" 4" 6" 8" 4" 6" 8" 4" 6" 8" 4" 6" 8"
基片数量

8

4

3 14 8 5 43 20 12 83 38 20 121 57 35 146 72 44 194 92 54
产品描述

相关产品

暂时没有内容信息显示
请先在网站后台添加数据记录。

关于我们

联系方式

地址:北京市经济技术开发区经海三路29号
电话: (+86)10-67832716/17
手机:13901368207
传真: (+86)10-67814077
邮箱: de@deproducts.com

微信二维码

 COPYRIGHT© 2020北京德仪天力科技发展有限公司版权所有 京ICP备05065635号

德仪科技
德仪科技